如何檢測金剛石刀具刃口鋒利度和粗糙度及刀面質(zhì)量？

  刃磨后的金剛石刀具刃口及刀面質(zhì)量將直接影響被加工零件表面質(zhì)量完整性。

  如切削刃鈍圓半徑R過大，會增加刀具切入工件的難度、增加切削力、加大表面的變形程度及變形層深度，刃口鋸齒度、刃口和刀面的表面粗糙度、波度都會復(fù)印到已加工工件表面等。所以，在超精密切削加工中金剛石刀具刃口的鋒利度、刃口及刀面的表面粗糙度、刃口的幾何精度是衡量金剛石刀具質(zhì)量的重要技術(shù)指標(biāo)。

  一般來說，高精度金剛石車刀刃磨指標(biāo)為刃口鈍圓半徑R≤ 0.05μm刃口及刀面表面粗糙度值Ra≤0.01μm或更小，線輪廓度和圓輪廓度不大于0.05μm或更小，因此，選擇合理的金剛石刀具刃口檢測方法是保證刀具刃磨質(zhì)量的重要手段之一。

  目前國際上最流行的測量金剛石刀具切削刃鈍圓半徑的方法是掃描電子顯微鏡法，由于采用該方法之前必須在金剛石表面鍍上一層導(dǎo)電薄膜，故測量不能反映刀具刃口及刀面的真實形貌，且當(dāng)?shù)毒呷锌阝g圓半徑R<100nm后，該方法的分辨率明顯不夠，圖像邊緣比較模糊，難以實現(xiàn)100nm精度內(nèi)的有效測量。

  國際上已出現(xiàn)了一些高精度的測量方法，如日本國立橫濱大學(xué)提出用SEM檢測的細(xì)金線壓痕法、美國Oklahoma大學(xué)提出的直接用原子力顯微鏡測量金剛石刀具切削刃鈍圓半徑等。

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